首頁 >涂層設備 >涂層中心 > 退涂層設備

腿肚設備2.jpg

 

Jupiter-V02-SP設備是應用于LED芯片和半導體晶元基片上電極金屬鍍膜的專有設備。該設備采用磁控濺射和離子束技術,實現在Si基、GaAs基以及GaN基的晶元基板上的實現多層金屬薄膜沉積。配合相應的薄膜沉積工藝,由Jupiter-V02-SP所提供的電極金屬薄膜,不但具有優異的結合力,同時也具良好的均勻性。
    Jupiter-V02-SP設備具有良好穩定性和高度自動化程度,也可根據客戶的要求實現多功能和多用途以適用于客戶獨立的工藝開發需求。

技術特點:
PVD 薄膜沉積技術:磁控濺射和離子束
工藝氣體:5N Ar
兩吋晶圓裝載量:160片;四吋晶圓裝載量:42片
可同時沉積多達5種金屬層
薄厚均勻性:±5%
在線膜厚檢測和控制
控制方式:PLC+工業控制電腦全自動控制

典型應用:
 LED 芯片電極制作
 半導體電極電路制作
 
 

菠菜注册白菜大全 涡阳县| 淳安县| 威宁| 日照市| 朝阳区| 新余市| 化德县| 页游| 开江县| 聂荣县| 和平县| 古蔺县| 南靖县| 长岛县| 鹤岗市| 临夏县| 日土县| 太仓市| 绥化市| 明光市| 陇南市| 远安县| 凤庆县| 新昌县| 余干县| 大英县| 启东市| 凤庆县| 宝清县| 曲沃县| 安龙县| 常熟市| 兰州市| 阿坝县| 呈贡县| 鄄城县| 东乡| 盈江县|