首頁 >涂層設備 >LED設備 > 反應離子刻蝕設備

反應離子刻蝕設備.jpg

 

 

星弧涂層StarRIE-II等離子清洗設備是一款專為LED行業研發的設備,該設備采用等離子反應刻蝕原理,對晶圓片、芯片、封裝支架等進行清洗或刻蝕的真空設備。由于采用射頻等離子體技術,StarRIE-II可對導電和非導電材料(含半導體材料)表面的有機物質和氧化物質進行有效去除,并且不會對清洗對象的基底材料產生損害,能有效應用于半導體晶元、LED芯片、LED封裝等行業的清洗或刻蝕工藝中。StarRIE-II設備采用批處理式設計,一次可以裝載2吋晶元150片,具有生產效率高、工藝變化柔性大的特點。設備具有清洗/刻蝕的自動工藝,用戶也可根據自身需求獨立開發工藝。本系列設備已獲得江蘇省高新科技產品認證。

技術特點:
  電源:射頻1000W,固態自動匹配
  反應氣體:Ar,O2,最多可配置4路
  最大刻蝕速率:250A/min 
  刻蝕均勻性:±5%
  沖放氣體N
  真空系統:機械選片泵架油霧過濾器
  抽速45m3/h
  控制方式:PLC加觸摸屏全自動控制

典型應用:
  LED芯片光阻去除
  晶元清洗 
  有機物質去除
  氧化物去除
  反應離子刻蝕和離子刻蝕/清洗
  藍膜殘膠去除
 
ico1.jpg

 

菠菜注册白菜大全 叶城县| 陈巴尔虎旗| 辉南县| 潼关县| 固始县| 儋州市| 黎川县| 登封市| 敖汉旗| 渭源县| 班戈县| 乌兰县| 六安市| 石林| 沧源| 铁力市| 阳城县| 莆田市| 哈巴河县| 隆德县| 当阳市| 夏河县| 永春县| 万山特区| 隆德县| 时尚| 梁河县| 鄂伦春自治旗| 静海县| 安阳县| 河曲县| 夏邑县| 乌拉特中旗| 邯郸县| 奉新县| 莲花县| 新野县| 张家川| 安仁县| 万州区| 资中县| 政和县| 资中县| 浙江省| 囊谦县| 隆昌县| 怀仁县| 定南县| 石景山区| 井陉县| 黄山市| 菏泽市| 建瓯市| 靖州| 兴化市| 芜湖县| 和平区| 酉阳| 平塘县| 加查县| 承德县| 神农架林区| 安陆市| 许昌市| 云霄县| 佛山市| 拉孜县| 正定县| 祁阳县| 松原市| 临江市| 澄江县| 盘锦市| 皋兰县| 阿拉善盟| 阜宁县| 潞西市| 通许县| 连州市| 洛宁县| 大冶市| 万宁市| 嵊泗县| 苏尼特左旗| 兴文县| 井研县| 澄迈县| 东兰县| 四子王旗| 南康市| 泰兴市| 称多县| 久治县| 罗甸县| 宕昌县| 荆州市| 攀枝花市| 镇巴县| 太康县| 峨山| 象州县| 资阳市| 巩义市| 马山县| 乌拉特后旗| 博野县| 翁源县| 右玉县| 天镇县| 开化县| 延川县| 水富县| 海口市| 武定县| 桂林市| 洪江市| 青浦区| 类乌齐县| 土默特左旗| 榆树市| 五家渠市| 巴青县| 连平县| 长海县| 赞皇县| 垦利县| 霞浦县| 米林县| 宁陵县| 绿春县| 达州市| 泽普县| 乌鲁木齐县| 大姚县| 永昌县| 闵行区| 北流市|